Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Maskenjustageanlage IZHH

1 Bieter

1 Los

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum in Form einer Maskenjustageanlage (auch Maskenpositionierer, Maskenausrichter). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Bei dem anzubietenden Gerät handelt es sich um ein UV Lithographie-Gerät zur hochpräzisen Ausrichtung von Fotomasken und der Belichtung von belackten Halbleitersubstraten mit Strukturen im Mikrometerbereich. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und eine Schulung. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Tender Automation die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

Analyse ansehen

Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort: Köln
Bundesland: Hamburg
CPV: 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 16.02.2024
Kennung: 9c66a78a-4659-4ef1-a3fa-fa1ce7eef2ce
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Los 1

Zuschlag

SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KGGarching bei München

Zum Vergabeportal

Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 16.02.2024, 01:00.