Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Sputter Anlage | Reinraum IZ HH

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Anlage zum Magnetronsputtern benötigt. Hiermit sol-en verschiedene Multilagen-Systeme auf 150 mm Substraten abgeschieden werden. Um einen Bruch der Vakuumatmosphäre zwischen den einzelnen Prozessschritten zu vermeiden, wird eine Prozesskammer mit mehreren Sputterquellen benötigt.

Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt

Ort

Köln

Bundesland

Hamburg

CPV

38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Verfahrensart

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren

Veröffentlicht

27.12.2023

Kennung

9e2661ec-b587-43bd-951c-77a6497266ab

Quelle

TED (EU-Amtsblatt)

Lose

• Los 1

Zum Vergabeportal

• Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 27.12.2023, 01:00.