Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – IBE IZHH

Beschreibung

Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.

Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.

Ort

Köln

Bundesland

Hamburg

CPV

38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Verfahrensart

Offenes Verfahren

Veröffentlicht

26.12.2023

Kennung

269c263b-0262-49ec-9988-70f54eb13585

Quelle

TED (EU-Amtsblatt)

Lose

• Los 1

Zum Vergabeportal

• Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 26.12.2023, 01:00.