Ausschreibung
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Kurzanalyse
Aus der Analyse der Vergabeunterlagen vom 22.09.2026.
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
- Teilnahmefrist
- 14.09.2026, 12:00 Uhr
- Verfahrensart
- Wettbewerblicher Dialog
- Lose
- 1 Los
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Vollständige Analyse ansehenBeschreibung laut Portal
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Angaben aus der Bekanntmachung
- Auftraggeber
- Ruhr-Universität Bochum
- Ort
- Bochum
- Bundesland
- Nordrhein-Westfalen
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Wettbewerblicher Dialog
- Veröffentlicht
- 13.08.2026
- Teilnahmefrist
- 14.09.2026, 12:00
- Kennung
- c859db0a-fabf-43ac-b7eb-a242bcd86fbf
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Änderungen der Bekanntmachung
- Teilnahmefrist — Uhrzeit ergänzt: 14.09.2026 → 14.09.2026, 12:00 11.09.2026, 19:59
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 11.09.2026, 19:59.